發(fā)布時(shí)間：2019-06-25

作為低原子序數(shù)材料，對(duì)離子、等離子具有較強(qiáng)的抗轟擊能力，純度高沒(méi)有金屬離子不會(huì)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)生污染。 用于等離子cvd用部件 等離子cvd用感受器、電極室、噴嘴、內(nèi)襯、濺射用電極、mo